名誉主席

何志明（美国工程院院士，台湾中研院院士，美国UCLA前副校长）

杨叔子（中国科学院院士，华中科技大学前校长）

王阳元（中国科学院院士，北京大学微电子研究院首席科学家）
 

顾问委员会

徐志磊（中国工程院院士，中国物理研究院研究员）

周兆英（中国MEMS创始人之一，清华大学教授）

王立鼎（中国工程院院士，大连理工大学教授）

温诗铸（中国科学院院士，清华大学教授）

解思深（中国科学院院士，中科院物理所教授）

方家雄（中国工程院院士，中科院上海技术物理研究所研究员 ）

葛昌纯（中国科学院院士，北京科技大学教授）

田中群（中国科学院院士，厦门大学教授）

陈十一（北京大学研究生院院长、工学院院长，教授）

徐延豪（中国科协党组委员，中国科学技术馆馆长，教授）

林炳承（英国皇家化学学会会士，中科院大连化学物理研究所教授）

梅宏（北京大学信息学院院长，教授）

郝一龙（北京大学微电子研究院院长，教授）

夏善红（973首席科学家，中科院电子所研究员）

Tzyh-Jong Tarn（中科院爱因斯坦讲座教授，美国华盛顿大学教授）

Wen-H Ko（国际传感器学会前主席，美国凯撒西储大学教授）

Masayoshi Esashi（日本东北大学教授）

Kurt Peterson（美国IBM公司前MEMS首席科学家）

Nico De. Rooij（瑞士EPFL大学教授，CMES副总裁）

Xiang Zhang（美国工程院院士，UC Bekerley大学教授）

Gang Chen（美国工程院院士，MIT大学教授）

Stephen Y. Chou（美国工程院院士，Princeton大学教授）

Susumu Kaminaga（日本SPP公司总裁）

Toshio Fukuda（日本名古屋大学教授）